차세대반도체소자연구실(ASDL) > 개별연구실

설치위치

• 글로벌평생학습관(98호관) 104호

장비스펙

• 100~1000배 배율, bright/dark field

장비소개

• 마이크로 사이즈의 물체를 확대하여 시각적으로 볼 수 있는 현미경

활용분야

• 2차원 반도체 전자, 반도체 소자의 광학 이미지 촬영 등

설치위치

• 글로벌평생학습관(98호관) 104호

장비스펙

• 10aA – 1A, 0.2µV – 210V, ±40V(80V p-p), ±800mA 200MSa/sec, 5ns 샘플링 레이트

장비소개

• 반도체 소자의 전기적 특성 분석 장비

활용분야

• 반도체 소자의 I-V, C-V 특성 측정
• 광전자 소자의 광전류 측정

설치위치

• 글로벌평생학습관(98호관) 104호

장비스펙

• 4 Micro positioner, dark shield box

장비소개

• 반도체 소자의 전기적 특성을 측정하기 위해 물리적인 접촉을 형성

활용분야

• 반도체 소자의 I-V, C-V 특성 측정
• 광전자 소자의 광전류 측정

설치위치

• 글로벌평생학습관(98호관) 104호

장비스펙

• ~5um 해상도

장비소개

• 포토리소그래피를 위한 마스크 노광 정렬기

활용분야

• 포토리소그래피