| No. | 장비명 | 설치 위치 | 담당자 |
|---|---|---|---|
| 1 | 고주파 스퍼터링 시스템 | 공동기기원(7호관) 클린룸 | 곽진성 |
| 2 | 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 삭각 | 공동기기원(7호관) 클린룸 | 곽진성 |
| 3 | 마스크 노광 정렬기 | 공동기기원(7호관) 클린룸 | 곽진성 |
| No. | 연구과제명 | 연구기간 | 수행현황 | 연간연구비(백만원) |
|---|---|---|---|---|
| 1 | G-램프(LAMP)사업 | 2024.09.01. ~ 2029.08.30. | 수행중 | 2,500 |
| 구분 | 개수 | 크기(㎡) | 위치 |
|---|---|---|---|
| 공동회의실 | 1 | 67.2 | 31호관 112호 |
| LAMP공동연구실 | 1 | 33.6 | 31호관 117호 |
| LAMP공동장비분석실 | 1 | 100.8 | 31호관 116호 |
| 나노소자공정센터 | 1 | 142.74 | 7호관 305~307호 |
055-213-3424
jkwak@changwon.ac.kr
