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차세대반도체소자연구실(ASDL)

Professor

  • 안종태 교수

Available Equipment

장비 이미지
No. 1
광학 현미경
Location
  • 글로벌평생학습관(98호관) 104호
Specifications
  • 100~1000배 배율, bright/dark field
Description
  • 마이크로 사이즈의 물체를 확대하여 시각적으로 볼 수 있는 현미경
Applications
  • 2차원 반도체 전자, 반도체 소자의 광학 이미지 촬영 등
장비 이미지
No. 2
Parameter analyzer
Location
  • 글로벌평생학습관(98호관) 104호
Specifications
  • 10aA – 1A, 0.2µV – 210V, ±40V(80V p-p), ±800mA 200MSa/sec, 5ns 샘플링 레이트
Description
  • 반도체 소자의 전기적 특성 분석 장비
Applications
  • 반도체 소자의 I-V, C-V 특성 측정
  • 광전자 소자의 광전류 측정
장비 이미지
No. 3
MST5500B
Location
  • 글로벌평생학습관(98호관) 104호
Specifications
  • 4 Micro positioner, dark shield box
Description
  • 반도체 소자의 전기적 특성을 측정하기 위해 물리적인 접촉을 형성
Applications
  • 반도체 소자의 I-V, C-V 특성 측정
  • 광전자 소자의 광전류 측정
장비 이미지
No. 4
마스크 얼라이너
Location
  • 글로벌평생학습관(98호관) 104호
Specifications
  • ~5um 해상도
Description
  • 포토리소그래피를 위한 마스크 노광 정렬기
Applications
  • 포토리소그래피

[51140] 305, BAC (formerly Dongbaek Hall, Building No. 3) G-LAMP Project Group Changwon National University,
20 Changwondaehak-ro, Uichang-gu, Changwon-si, Gyeongnam, Korea

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